P+F電容式傳感器圖片

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(1)高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小，輸人能量也很低。

電容式傳感器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個10-5 N)，因此所需輸入能量極小，所以特別適宜用來解決輸入能量低的 測量問題，例如測量極低的壓力、

力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏,分辨力非常高，能 感受0.001μm甚更小的位移。

(2)溫度穩定性。傳感器的電容值一般與電極材料無關，有利于選擇溫度系數低的材料， 又因本身發熱極小，對穩定性影響甚微。

(3)結構簡單，適應性強，待測體是導體或半導體均可,可在惡劣環境中工作。

電容式傳感 器結構簡單,易于制造,可做得非常小巧，以實現某些特殊的測量;

能工作在高低溫、強輻射及強 磁場等惡劣的環境中，也能對帶有磁性的工件進行測量。

(4)動態響應。由于極板間的靜電引力很小，可動部分做得很小很薄，

因此其固有頻率很 高，動態響應時間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特別適合動態測量，如測量振動、瞬時壓力等。

(5)可以實現非接觸測量，具有平均效應。例如非接觸測量回轉軸的振動或偏心、小型滾珠 軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時,

電容式傳感器具有平均效應，可以減小工作表面粗糙 等對測量的影響。

特點:

(1)轉換電路生成頻率信號，可遠距離傳輸不受干擾。

(2)具有較高的靈敏度，可以測量高0.01μm位移變化量。

(3)但非線性較差，可通過鑒頻器(頻壓轉換)轉化為電壓信號后，進行補償。

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